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拆开一台刻蚀机,你会看到这么多陶瓷部件!

发布时间:2023-05-14 07:21:29 来源:面包芯语


【资料图】

什么是刻蚀机?先简单说一下名称,大家叫“刻蚀机”和“蚀刻机”都是正确。国内两家重要的厂家中微半导体和北方华创用的都是“刻蚀机”。

等离子体刻蚀设备的结构示意图

刻蚀机腔体

图源:NGK

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